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電子氣是啥

更新時間:2023-01-13      點擊次數(shù):2240
  一、電子氣(electrongas),是2019年經(jīng)全國科學技術(shù)名詞審定委員會審定發(fā)布的物理學名詞。
 
  二、按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規(guī)模集成電路)級,VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。
 
  三、大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的及時應用有利于提高污染控制。首先大包裝容器保證了氣體品質(zhì)的連續(xù)性,降低了多次充裝污染風險。另外由于換瓶頻率的減少,也減少了污染幾率。BSGS多采用了深層吹掃,顯著提高了吹掃效果。
 
  四、對于大流量的BSGS,不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對流量的影響,還要考慮氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應。一般而言,氣體減壓后,溫度會降低,甚至液化。這會照成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。因此需要考慮在減壓前對氣體進行預熱。氣體監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)通過計算機網(wǎng)絡(luò),實現(xiàn)對氣體輸送系統(tǒng)的實時監(jiān)控,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
 
  五、輸送管道一般采用無縫SS316LEP管。施工采用自動軌道焊接,經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等,安全輸送系統(tǒng)(SDS)正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的泄漏。
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